论文发表期刊发表范文:电真空器件的气密性检测

时间:2019-10-03 14:14:20

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电真空器件的气密性检测

 

摘要:微波管是一种真空电子器件,其性能和寿命受到真空气密性的影响比较大,为了保证微波管具有良好的性能,同时具备较长的使用寿命,在进行制作的过程中,应用了真空检漏技术。在进行气密性检测时,主要使用的方法为氦质谱检漏仪,此种检测方法的应用范围非常广,且具备传统检漏方法所部被的技术优势。在本文中,介绍了氦质谱检漏仪的检漏方法,同时分析了在进行检漏时应该注意的事项。

关键词:电真空器件;气密性检测;氦质谱检漏仪

 

前言:在利用氦质谱检漏仪进行气密性检测时,一般会有两种方法,一种为氦罩法,一种为喷吹法。在对总漏率进行测定时,首先应用氦罩法进行检测,在检测的过程中,如果总漏率大于允许值,那么就需要对存在的漏孔进行定位,这时,就会应用喷吹法。在进行检漏之前,需要进行一系列的准备工作,以便于保证检漏的准确性,一般来说,准备工作包括环境、检漏台等,准备工作完成之后,才能进行具体的气密性检测工作。

一、氦质谱检测仪检漏方法

(一)氦罩法测总漏率

所谓氦罩法,是指被检件与检测仪连接抽真空达到检漏状态后,用检验罩将被检件覆盖住,在检验罩中充满了氦气。在进行充氦气工作之前,需要将检验罩中的空气全部的排出,这样一来,检验罩内的氦气浓度才能保证非常的接近。在进行检测的过程中,如果被检件出现泄漏的现象,那么检漏仪器上的数值就会发生变化,这就是漏率值。在利用氦罩法检测总漏率时,只需要30s的时间,对于被检件发生的泄漏,氦罩法都可以准确的发现,但是当确定发生泄漏的位置时,氦罩法就无法进行。

(二)喷吹法确定漏孔位置

被检件在与检测仪相连接时,所连接的为真空系统,通过此系统,被检件就变成了真空的状态,当发生泄漏时,就可以用喷枪对可能发生泄漏的地方喷吹氦气,如果喷吹的地方正是漏孔所在地,那么氦气就会进入到氦质谱检测仪中,从而被准确的检测出,精准的确定漏孔的位置。喷吹法的应用,恰好的弥补了氦罩法存在的不足。

在利用喷吹法确定漏孔的位置时,首先需要确定喷吹的时间与移动的速度,在确定时间时,要根据被检件的实际特点来确定,比如结构特点、容积大小等,同时还要充分的考虑检测仪的状况和检测方法,在进行喷吹的过程中,喷枪的移动速度不能过快,要根据喷吹时间和喷嘴直径来具体的确定;其次,对漏孔进行定位,并按照一定的原则进行喷吹检漏,最终确定漏孔的具体位置。

(三)检漏精度

在利用氦质谱检测仪进行气密性检测时,检漏精度会受到多种因素的影响,在检漏环境中,如果氦气的含量越低,那么所具备的检漏精度就越高;在进行检测的过程中,仪器会具备一定的噪声电流,当电流越小时,精度就越高;检测仪线性与检漏精度之间是正相关的关系,也就是说,线性越好,精度越高。除了上面提到的这些因素之外,检漏精度还会受到名义泄漏率与实际泄漏率误差大小的影响。

二、气密性检测时的注意事项

(一)温度

对于漏孔的泄漏率来说,环境温度的影响是非常大的,当被检件的温度与室内的温度趋于一致时,检测仪的检漏效果将会达到更佳的状态。漏孔具有一定的几何尺寸,同时还具备气体特性,不过当漏孔受到温度的影响时,这两方面都会发生改变,进而泄漏率就会发生相应的改变。对于同一个漏孔来说,当其所处的温度值不相同时,漏孔的几何尺寸会发生变化,同时,漏率值也会不同,根据的规定,漏孔的漏率处于标准状态时,温度应该在25℃,当温度发生变化时,就需要修正漏率值,在进行修改时,要根据这个公式来进行修改:Q=Q1T/T1,在这个公式中,T所代表的为标准漏率的温度,也就是25℃,T1为被检件的实际温度,Q为标准漏率值,Q1为当被检件处于T1温度时,具体的漏率值。

(二)临时密封污染

在对被检件进行气密性检测时,需要将其与检测仪相连接,在进行连接时,连接处需要进行密封处理,一般采用真空橡胶垫、橡胶管、酒精、真空封泥等。在整个检漏的过程中,零部件与真空封泥之间需要进行多次的接触,这样一来,真空封泥就会进入到被检件中,尽管进入的量比较少,且真空封泥也很容易被汽油溶解,但是其依然存在着潜在的放气源危险,从而使被检件的性能受到严重的影响。除了真空封泥之外,酒精、汽油等也都会在一定的作用下成为污染源,这对被检件的性能有很严重的影响。基于此,在检漏工作完成之后,被检件的清理工作一定要十分的重视,避免发生密封污染。

(三)材料的吸附

    在进行检漏工作时,需要用到吸气材料,比如真空管道、阀门等,当使用吸气材料的时间越长时,其所吸附的杂质气体就会变得越来越多,比如氦气,这样一来,质谱室就会将这些杂质气体吸入,从而附着在表面上,形成沉积物污染,进而导致具备非常高的氦本底,影响检测仪的稳定性,最终对检测精度产生影响。

结论:在进行电真空器件气密性检测时,现在普遍的做法就是利用氦质谱检测仪进行检漏,在检漏的过程中,很多因素都会对检漏的性产生影响,因此,检漏工作的开展必须要充分的考虑实际情况,对漏孔进行准确的定位,从而及时的进行修正,保证电真空器件的气密性。

参考文献:

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